北方华创正式发布 CCP 介质刻蚀机，实现刻蚀工艺全覆盖

2022-08-16

北方华创 NMC508 RIE 介质刻蚀机采用 8 吋设备二十年工艺基础；专为 8 吋工艺设计的腔室与硬件，满足定制化需求；6&8 吋兼容，可实现快速切换；目前，已在 5 家客户完成验证并实现量产；支持 18 年成熟的软件系统应用，以及稳定的备件系统，配备可靠供应链；搭载全套服务团队，可提供包括工艺开发、零部件供应、软件升级、质保服务等在内的全方位保障。

据北方华创官方宣布，今天，北方华创正式发布 CCP 介质刻蚀机，目前已在 5 家客户完成验证并实现量产。此前北方华创已推出 ICP 刻蚀机、金属刻蚀机等，实现刻蚀工艺全覆盖。